Quy trình thực hiện thủ tục đầu tư được thể hiện thông qua sơ đồ trình tự thủ tục sau:

Ghi chú:
– (1), (2), (8), (10): thực hiện tại UBND cấp huyện nơi có dự án (nếu dự án vốn trong nước có diện tích dưới 0,5 ha và vốn dưới 15 tỷ đồng VN): tại Sở Kế hoạch và Đầu tư (các dự án còn lại).
– (3), (9): thực hiện tại Sở Kế hoạch và Đầu tư.
– (4), (13): tại Sở Xây dụng (dự án FDI, dự án trong nước có quy mô hơn 0,5 ha, trên 15 tỷ đồng); UBND cấp huyện (các dự án trong nước có quy mô nhỏ hơn 0,5 ha và vốn dưới 15 tỷ đồng).
– (5), (12): thực hiện tại UBND cấp huyện đối với Đăng ký cam kết bảo vệ môi trường; tại sở Tài nguyên và Môi trường đối với Báo cáo đánh giá bảo vệ môi trường.
– (6), (11): thực hiện tại Sở Tài nguyên và Môi trường.
– Dự án thực hiện trong các Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao do Thủ tướng Chính phủ thành lập, thực hiện các thủ tục trên tại bộ phận một cửa thuộc Ban quản lý Khu.
Trình tự thực hiện các thủ tục

Bước 1: Đăng ký giới thiệu địa điểm đầu tư

1. Nhà đầu tư thực hiện thủ tục đăng ký giới thiệu địa điểm đầu tư để được giới thiệu địa điểm phù hợp với quy hoạch phát triển kinh tế xã hội và quy hoạch phát triển ngành của tỉnh, trên cơ sở xem xét các yếu tố liên quan đến ngành nghề, diện tích, bảo vệ môi trường.
Cơ quan thẩm quyền giải quyết là Sở Kế hoạch và Đầu tư.
2. Cơ quan tiếp nhận hồ sơ, thẩm quyền giải quyết và giao trả kết quả là Sở Kế hoạch và Đầu tư.
3. Thời gian giải quyết: không quá 15 ngày làm việc đối với dự án ngoài các Khu, cụm công nghiệp; 03 ngày làm việc đối với dự án trong các Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao, kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ, không kể thời gian điều chỉnh, bổ sung hồ sơ.

Bước 2: Đăng ký doanh nghiệp

1. Nhà đầu tư trong nước thực hiện thủ tục đăng ký doanh nghiệp để được cấp Giấy chứng nhận đăng ký doanh nghiệp
2. Cơ quan tiếp nhận hồ sơ, thẩm quyền giải quyết và giao trả kết quả là Sở Kế hoạch và Đầu tư đầu tư
3. Thời gian giải quyết: không quá 07 ngày làm việc bao gồm thời gian khắc dấu doanh nghiệp, kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ.

Bước 3: Thỏa thuận địa điểm đầu tư

Các dự án đầu tư vào các khu, cụm CN không thực hiện bước này.
1. Nhà đầu tư thực hiện thủ tục thỏa thuận địa điểm đầu tư để được chấp thuận địa điểm trên cơ sở xem xét các yếu tố liên quan đến  ngành nghề, diện tích, nguồn vốn, tiến độ thực hiện, tái định cư và bảo vệ môi trường.
2. Văn bản thỏa thuận địa điểm đầu tư là căn cứ để nhà đầu tư lập các thủ tục đầu tư kế tiếp.
3. Cơ quan thẩm quyền giải quyết là UBND cấp tỉnh.
4. Cơ quan nhận hồ sơ, thẩm tra và trả kết quả là Sở Kế hoạch và Đầu tư đầu tư.
5. Thời gian giải quyết: không quá 15 ngày làm việc kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ.

Bước 4: Đăng ký đầu tư

Các dự án không quy định đăng ký đầu tư không thực hiện bước này.
1. Cơ quan thẩm quyền giải quyết là UBND cấp tỉnh đối với các địa điểm đầu tư ngoài các Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao; Ban quản lý đối với các địa điểm đầu tư trong các Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao.
2. Cơ quan nhận hồ sơ và giao trả kết quả
a. Sở Kế hoạch và Đầu tư đầu tư đối với địa điểm đầu tư ngoài các Khu, Cụm công nghiệp
b. Ban quản lý đối với địa điểm đầu tư trong các Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao.
3. Cơ quan xử lý hồ sơ: Sở Kế hoạch và Đầu tư; Ban quản lý.
4. Thời gian giải quyết: không quá 15 ngày làm việc đối với dự án ngoài các Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao, 03 ngày làm việc đối với dự án trong các Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao, kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ.

Bước 5: Cấp Giấy chứng nhận đầu tư

1. Khi được thỏa thuận địa điểm đầu tư ở Bước 3, nhà đầu tư lập hồ sơ để được cấp Giấy chứng nhận đầu tư hình thành pháp nhân và xác nhận hoạt động đầu tư của mình theo quy định của Luật Đầu tư.
2. Cơ quan thẩm quyền giải quyết: UBND cấp tỉnh; Ban quản lý.
3. Cơ quan nhận hồ sơ và giao trả kết quả là Sở Kế hoạch và Đầu tư đối với địa điểm đầu tư ngoài các khu, cụm công nghiệp; Ban quản lý đối với địa điểm đầu tư trong các Khu, Cụm công nghiệp.
4. Thời gian giải quyết không quá 15 ngày làm việc cho trường hợp đăng ký và 30 ngày làm việc cho trường hợp thẩm tra cấp Giấy chứng nhận đầu tư.

Bước 6: Thủ tục về quyền sử dụng đất

Nhà đầu tư thực hiện một trong 04 loại thủ tục sau:
1. Thủ tục giao đất đã giải phóng mặt bằng
2. Thủ tục giao đất chưa giải phóng mặt bằng
3. Thủ tục cho thuế đất đã giải phóng mặt bằng
4. Thủ tục cho thuê đất chưa giải phóng mặt bằng
Nội dung của từng loại thủ tục trên là:
a. Nhà đầu tư lập thủ tục đề nghị được giao hoặc cho thuê đất để thực hiện dự án sau khi đất thuộc diện thu hồi đã được thu hồi
b. Cơ quan có thẩm quyền giải quyết là UBND cấp tỉnh
c. Cơ quan nhận hồ sơ, xử lý và giao trả kết quả là Sở Tài nguyên và môi trường.
d. Thời gian giải quyết: Từ 12 đến 20 ngày làm việc tùy từng loại thủ tục, kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ.

Bước 7: Thủ tục về môi trường

1. Nhà đầu tư cần thiết lập Báo cáo đánh giá tác động của môi trường (ĐTM) hoặc Đăng ký cam kết bảo vệ môi trường theo quy định để được thẩm định hoặc cấp phiếu xác nhận cam kết bảo vệ môi trường làm cơ sở cho việc lập các thủ tục về sử dụng đất và nghiệm thu đưa công trình vào sử dụng.
2. Cơ quan có thẩm quyền giải quyết là UBND cấp tỉnh đối với Báo cáo (ĐTM); UBND các huyện đối với Đăng ký cam kết bảo vệ môi trường; Ban quản lý đối với các dự án trong Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao.
3. Cơ quan nhận hồ sơ và giao trả kết quả là Sở Tài nguyên và Môi trường đối với Báo cáo (ĐTM); Văn phòng UBND cấp huyện đối với Đăng ký cam kết bảo vệ môi trường; Ban quản lý đối với các dự án trong Khu công nghiệp, Khu kinh tế, Khu công nghệ cao.
4. Thời gian giải quyết hồ sơ không quá 30 ngày làm việc đối với Báo cáo (ĐTM) và 5 ngày làm việc đối với Đăng ký cam kết bảo vệ môi trường, kể từ khi nhận đủ hồ sơ.

Bước 8: Thủ tục về xây dựng

i) Giấy phép xây dựng
1.1 Các dự án đầu tư vào các Khu, Cụm công nghiệp; các dự án đã phù hợp với mục đích sử dụng đất không thực hiện bước này
a. Nhà đầu tư có yêu cầu xây dựng công trình riêng lẻ của dự án đầu tư không là dự án khu dân cư, khu, cụm công nghiệp khu kinh tế… cần lập thủ tục đề nghị cấp Giấy phép xây dựng.
b. Cơ quan có thẩm quyền giải quyết:
b.1. Sở Xây dựng cấp phép Xây dựng đối với các công trình:
– Cấp đặc biệt, cấp 1 theo phụ lục 01 Nghị định số 209/2004/NĐ-CP ngày
16/12/2004 của Chính Phủ về quản lý chất lượng công trình xây dựng;
– Di tích lịch sử-văn hóa, tượng đài quảng cáo tranh hoành tráng;
– Các công trình trên các tuyến, trục đường chính đô thị thuộc cấp tỉnh quản lý.
b.2. UBND cấp huyện cấp phép Xây dựng các công trình còn lại.
1.2 Cơ quan nhận hồ sơ và giao trả kết quả:
a. Sở Xây dựng đối với công trình thuộc thẩm quyền của Sở Xây dựng.
b. Bộ phận một cửa của UBND cấp huyện đối với các công trình còn lại.
1.3 Thời gian giải quyết: không quá 10 ngày làm việc kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ, không kể thời gian điều chỉnh, bổ sung hồ sơ.
ii)  Phê duyệt nhiệm vụ quy hoạch chi tiết xây dựng
Nhà đầu tư có yêu cầu xây dựng công trình không phải là các dự án đầu tư Khu, cụm công nghiệp cần lập thủ tục trình phê duyệtnhiệm vụ quy hoạch chi tiết.
a. Cơ quan có thẩm quyền giải quyết
* UBND cấp tỉnh phê duyệt nhiệm vụ quy hoạch chi tiết xây dựng tỷ lệ 1/2000 cho các khu chức năng của đô thị loại 3, quy hoạch chi tiết tỷ lệ 1/2000 và tỷ lệ 1/500 đối với các khu vực có phạm vi lập quy hoạch liên quan tới địa giới hành chính hai huyện trở lên, các khu chức năng khác ngoài đô thị (khu đô thị, khu du lịch, khu bảo tồn di sản, giáo dục đào tạo, y tế, công nghiệp địa phương…), các khu chức năng thuộc đô thị mới, các khu chức năng thuộc khu công nghệ cao, khu kinh tế
* UBND cấp huyện phê duyệt nhiệm vụ quy hoạch chi tiết xây dựng tỷ lệ 1/2000 đối với các khu chức năng của đô thị loại 4, loại 5, quy hoạch chi tiết xây dựng tỷ lệ 1/500 các khu chức năng của đô thị loại 3, loại 4, loại 5; nhiệm vụ quy hoạch điểm dân cư nông thôn sau khi được Hội đồng nhân dân cấp xã thông qua bằng nghị quyết và có tờ trình xin phê duyệt của Ủy ban nhân dân xã, phường, thị trấn (sau đây gọi là Ủy ban nhân dân cấp xã).
b. Cơ quan nhận hồ sơ và giao trả kết quả là Sở Xây dựng hoặc UBND cấp huyện
c. Thời gian giải quyết: Không quá 30 ngày làm việc đối với đồ án thuộc thẩm quyền của UBND cấp tỉnh hoặc 20 ngày làm việc đối với  đồ án thuộc thẩm quyền của UBND cấp huyện, kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ.
iii) Phê duyệt quy hoạch chi tiết xây dựng
Nhà đầu tư có yêu cầu xây dựng công trình dự án khu dân cư; khu, cụm công nghiệp, khu kinh tế… cần lập thủ tục trình phê duyệt quy hoạch chi tiết.
a. Cơ quan có thẩm quyền giải quyết:
* UBND cấp tỉnh phê duyệt các đồ án quy hoạch chi tiết xây dựng tỷ lệ 1/2000 cho các khu chức năng của đô thị loại 3, quy hoạch chi tiết tỷ lệ 1/2000 và tỷ lệ 1/500 đối với các khu vực có phạm vi lập quy hoạch liên quan tới địa giới hành chính hai huyện trở lên, các khu chức năng khác ngoài đô thị (khu đô thị, khu du lịch, khu bảo tồn di sản, giáo dục đào tạo, y tế, công nghiệp địa phương…), các khu chức năng thuộc đô thị mới, các khu chức năng thuộc khu công nghệ cao, khu kinh tế;
* UBND cấp huyện phê duyệt đồ án quy hoạch chi tiết xây dựng tỷ lệ 1/2000 đối với các khu chức năng của đô thị loại 4, loại 5, quy hoạch chi tiết xây dựng tỷ lệ 1/500 các khu chức năng của đô thị loại 3, loại 4, loại 5; đồ án quy hoạch điểm dân cư nông thôn sau khi được Hội đồng nhân dân cấp xã thông qua bằng nghị quyết và có tờ trình xin phê duyệt của Ủy ban nhân dân cấp xã.
b. Cơ quan nhận hồ sơ và giao trả kết quả là Sở Xây dựng hoặc UBND cấp huyện
c. Thời gian giải quyết: Không quá 30 ngày làm việc đối với đồ án thuộc thẩm quyền của UBND cấp tỉnh hoặc 20 ngày làm việc đối với  đồ án thuộc thẩm quyền của UBND cấp huyện, kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ.
iv) Cấp quyền sở hữu công trình xây dựng
Nhà đầu tư có yêu cầu cấp quyền sở hữu công trình xây dựng cần lập thủ tục cấp quyền sở hữu công trình xây dựng.
4.1 Cơ quan có thẩm quyền giải quyết:
a. Sở Tài nguyên và Môi trường cho công trình xây dựng của tổ chức (bao gồm tổ chức trong nước và tổ chức nước ngoài).
b. UBND cấp huyện cho công trình xây dựng của cá nhân (bao gồm cá nhân trong nước, người Việt Nam ở nước ngoài và cá nhân nước ngoài).
4.2 Cơ quan nhận hồ sơ và giao trả kết quả:
a. Sở Tài nguyên và Môi trường cho công trình xây dựng của tổ chức (bao gồm tổ chức trong nước và tổ chức nước ngoài).
b. UBND cấp huyện cho công trình xây dựng của cá nhân (bao gồm cá nhân trong nước, người Việt Nam ở nước ngoài và cá nhân nước ngoài).
4.3 Thời gian giải quyết: Không quá 30 ngày kể từ khi nhận đủ hồ sơ hợp lệ.